電容式傳感器的特點(diǎn)
電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的一種裝置,它本身就是一種可變電容器。由于這種傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單,體積小,動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,靈敏度高,分辨率高,能實(shí)現(xiàn)非接觸測量等特點(diǎn),因而被廣泛應(yīng)用于位移、加速度、振動(dòng)、壓力、壓差、液位、等分含量等檢測領(lǐng)域。
(1) 結(jié)構(gòu)簡單,適應(yīng)性強(qiáng)
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,精度高;可以做得很小,以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量,電容式傳感器一般用金屬作電極,以無機(jī)材料作絕緣支承,因此可工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中,能承受很大的溫度變化,承受高壓力、高沖擊、過載等;能測超高壓和低壓差。
(2) 動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小,需要的作用能量極小,可動(dòng)部分可以做得小而薄,質(zhì)量輕,因此固有頻率高,動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短,能在幾兆赫的頻率下工作,特適合于動(dòng)態(tài)測量;可以用較高頻率供電,因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù),如振動(dòng)等。
(3) 分辨率高
由于傳感器的帶電極板間的引力極小,需要輸入能量低,所以特別適合于用來解決輸入能量低的問題,如測量極小的壓力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很靈敏,分辨力非常高,能感受0.001μm ,甚至更小的位移。
(4) 溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,又由于本身發(fā)熱極小,因此影響穩(wěn)定性也極微小。
(5) 可實(shí)現(xiàn)非接觸測量、具有平均效應(yīng)
如回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心、小型滾珠軸承的徑向間隙等,采用非接觸測量時(shí),電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工件表面粗糙度等對(duì)測量的影響。